1 范圍

      本標準規定了潔凈機器人的產品分類、性能、技術要求、試驗方法及標志、使用說明書、包裝、運輸及貯存等。

      本標準適用于在潔凈室使用的，在大氣或真空環境中執行搬運等任務的潔凈機器人。

2 規范性引用文件

      下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

      GB/T 191 包裝儲運圖示標志

      GB/T 4768 防霉包裝

      GB/T 4857.23 包裝 運輸包裝件基本試驗 第23部分：隨機振動試驗方法

      GB/T 4879 防銹包裝

      GB/T 5048 防潮包裝

      GB 5226.1-2008 機械電氣安全 機械電氣設備 第1部分：通用技術條件

      GB/T 7932-2017 氣動 對系統及其元件的一般規則和安全要求

      GB/T 9969 工業產品使用說明書 總則

      GB 11291.1-2011 工業環境用機器人 安全要求 第1部分：機器人

      GB/T 12642-2013 工業機器人 性能規范及其試驗方法

      GB/T 13306 標牌

      GB/T 25915.1-2010 潔凈室及相關受控環境 第1部分：空氣潔凈度等級

      GB/T 32293-2015 真空技術 真空設備的檢漏方法選擇

      JB/T 8896-1999 工業機器人 驗收規則

3 術語和定義

      下列術語和定義適用于本文件。

3.1

      工業機器人 industrial robot

      自動控制的、可重復編程、多用途的操作機，可對三個或三個以上軸進行編程。在工業自動化中使用。

      注1：工業機器人包括：

      ——操作機，含制動器；

      ——控制器，含示教盒和某些通信接口（硬件和軟件）。

      注2：這包括某些集成的附加軸。

      注3：它可以是固定式或移動式。

      注4：改寫GB/T 12643-2013，定義2.9。

3.2

      潔凈室 clean room

      空氣懸浮粒子濃度受控的房間。

      注1：它的建造和使用能減少室內滲入、產生及滯留的粒子。室內其他有關參數如溫度、濕度、壓力也會受控。

      注2：改寫GB50073-2013，定義2.0.1。

3.3

      真空 vacuum

      用于描述低于大氣壓力或大氣質量密度的稀薄氣體狀態或基于該狀態環境的通用術語。

      ［GB/T 3163-2007，定義2.3］

3.4

      潔凈機器人 clean-room robot

      在潔凈室（3.2）使用的，在電子器件制造、醫藥制造、食品制造等行業執行搬運等任務的工業機器人(3.1)。

      注：可適用于大氣和真空環境。

3.5

      大氣機器人 atmospheric robot

      機器人整體或部分在大氣環境下使用的潔凈機器人（3.4）。

3.6

      真空機器人 vacuum robot

      機器人整體或部分在真空（3.3）環境下使用的潔凈機器人（3.4）。

3.7

      潔凈度 cleanliness

      以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數量來區分的潔凈程度。

      ［GB 50073-2013，定義2.0.12］

3.8

      漏率 leak rates

      在規定條件下，一種特定氣體通過漏孔的流量。

      ［GB/T 3163-2007，定義6.1.9］

4 產品分類

      按使用環境分為：

      a）大氣機器人；

      b）真空機器人。

5 性能

      潔凈機器人（以下簡稱機器人）的性能指標參數，應在產品標準中規定，包括下列各項：

      a）各軸運動范圍；

      b）最大單軸速度；

      c) 位姿準確度和重復性；

      d）位置穩定時間；

      e）軌跡準確度和重復性；

      f）軌跡速度；

      g) 靜態柔順性；

      h）潔凈度；

      i) 漏率。

6 技術要求

6.1 一般要求

      機器人應滿足以下一般要求：

      a）機器人的潔凈設計應滿足產品潔凈度要求；

      b）機器人應按規定程序批準的設計圖樣和工藝文件進行制造；

      c）機器人部件質量應可靠，并符合相關標準。

6.2 外觀和結構

      機器人外觀和結構應滿足以下要求：

      a）機器人表面色澤應均勻一致，無劃痕等缺陷；表面各部分應光滑，無毛刺、尖角、起泡；

      b）金屬部件不應有銹蝕及其他機械損傷；

      c）文字、符合和標志應清晰、端正，各關節軸處應標明軸號及運動方向；

      d）機器人結構應布局合理，操作方便，便于維護；

      e）機器人部件質量應可靠，并符合相關標準。

6.3 功能

      機器人功能應滿足以下要求：

      a）機器人的開關、按鈕、顯示、報警及聯鎖裝置功能應正常；

      b）使用操作機操作機器人各軸運動應平穩、正常；

      c）機器人各種運行模式中，指令與動作應協調一致；

      d）機器人碰撞保護功能應正常。

6.4 氣動系統

      用氣動驅動的機器人夾持器，其氣動系統應符合GB/T 7932-2017的規定。

6.5 電氣系統

      機器人電氣系統應符合GB 5226.1-2008的規定。

6.6 安全

6.6.1 基本要求

      機器人的安全應符合GB 11291.1-2011的規定。針對潔凈應用特點，且應滿足以下工作要求：

      a）機器人在應用過程中不應損壞應用產品；

      b）機器人在搬運過程中物料（硅片、玻璃基板等）不應發生掉落、滑動；

      c）機器人產生的空氣懸浮粒子濃度應受控，不應破壞應用環境；

      d）機器人在發生碰撞時應能夠及時停機。

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