一、潔凈室型式

1. 潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

2. 電子工業潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。

3. 潔凈室型式的選擇應綜合生產工藝要求、節約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環境等型式。

二、潔凈室布置和綜合協調要求

1. 潔凈廠房的平面布置應合理安排潔凈生產區、輔助區和動力區,并應符合下列要求:

      （1）潔凈室（區）人員凈化、物料凈化和各種輔助用房，應合理分區布置；

      （2）生產工藝或生產設備有特殊要求時，宜分隔為單獨的房間；

      （3）生產過程中排放腐蝕性氣體的生產設備或生產工序應分類、集中布置或與其他生產房間分隔；

      （4）發熱量、發塵量大的生產工序或生產設備，宜與空氣潔凈度要求嚴格的房間分隔布置；

      （5）潔凈室（區）的輔助設備、維修間等技術支持區，宜集中布置在潔凈室（區）的相鄰房間，技術支持區的空氣潔凈度等級應低于潔凈室（區）的等級；

      （6）若需在潔凈室（區）內設置潔凈電梯時，應采取氣閘間、潔凈送風措施；

      （7）應符合有關防爆、防火、消防等要求。

2. 潔凈室（區）的空間布置應滿足下列要求：

      （1）生產設備、物料運輸系統應根據產品生產工藝要求布置，并應做到有效、靈活和操作方便；

      （2）各類管線的空間布置應滿足生產工藝、安全間距和維修要求，

      （3）終端高效空氣過濾器、照明燈具和各種公用動力設施的布置，應滿足生產工藝、潔凈度等級、安全生產和維修要求；

      （4）潔凈生產層的高度應按生產設備、微環境裝置和物料運輸設備的外形尺寸確定。技術夾層高度應根據具體工程要求確定。

3. 潔凈室（區）內應少分隔，但下列情況應予分隔：

      （1）按火災危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產區段或房間之間，或有防火分隔要求時，應設隔墻；

      （2）在電子產品生產過程中，經常不同時使用的兩個生產區段或房間之間；

      （3）生產過程中排放影響產品質量的有害氣體或化學污染物的工序、設備，宜分隔設獨立房間。

4. 潔凈廠房的布置應綜合協調生產操作、設備安裝和維修、公用動力管線、氣流流型以及凈化空調系統等各類技術設施的需要。