電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)備及工器具設(shè)計(jì)要求如下：
1. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)應(yīng)采用具有防塵、防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備，并應(yīng)符合下列要求：
（1）表面應(yīng)光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì)；
（2）設(shè)備的傳動(dòng)部件等應(yīng)密封性能好，并應(yīng)防止?jié)櫥汀⒗鋮s劑等的泄漏；
（3）對(duì)生產(chǎn)中發(fā)塵、排熱量大或排出有毒、可燃?xì)怏w的設(shè)備，應(yīng)采取防擴(kuò)散措施，
（4）設(shè)備的金屬外殼應(yīng)設(shè)置接地設(shè)施。
2. 當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室（區(qū)）時(shí)，宜采取密封隔斷措施。
3. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過(guò)潔凈室噪聲容許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲措施。
4. 潔凈室（區(qū)）應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。
5. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中各種零、部件存放和傳送，宜采用專(zhuān)用容器。用于存放和傳送的專(zhuān)用容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：
（1）制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；
（2）應(yīng)密封性能好；
（3）當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí)，宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?/p>
（4）構(gòu)造、外形應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運(yùn)送。
6. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
（1）使用油潤(rùn)滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)；
（2）對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過(guò)爆炸下限的20％時(shí)，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分；
（3）傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾摺５獨(dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。
