電子工業潔凈廠房氣體供應設計一般規定如下：

1. 潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產工藝要求。

2. 常用氣體的供氣方式和供氣系統，應根據氣體用量、氣體品質和當地的供氣狀況等因素，經技術經濟比較后確定。

3. 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統，除應符合本規范外，還應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016、《氫氣站設計規范》GB 50177和《氧氣站設計規范》GB 50030等的有關規定。

4. 潔凈廠房內的氣體管道的干管，應敷設在技術夾層或技術夾道內。當與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線上部。

5. 潔凈室（區）內的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷，穿過潔凈室（區）的墻壁或樓板處的管段應設置套管，套管內的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采取密封措施。

6. 可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當必須穿過時應設套管或雙層管。

7. 高純氣體管道設計應符合下列規定：

      （1） 管徑應按氣體容許流量、壓力或生產工藝設備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm，

      （2）不得出現不易吹除的“盲管”等死空間，

      （3）管道系統應設置吹掃口和取樣口。

8. 潔凈廠房的可燃氣體管道系統應設置下列安全設施：

      （1）可燃氣體管道設置閥門時應設置閥門箱，閥門箱應設置氣體泄漏報警和事故排風裝置，報警裝置應與相應的事故排風機聯鎖；

      （2）接至用氣設備的支管和放散管，宜設置阻火設施；

      （3）引至室外的放散管，應設置防雷保護設施，

      （4）應設置導除靜電的接地設施。

9. 氣體過濾器應根據產品生產工藝對氣體潔凈度的要求進行選擇和配置。終端氣體過濾器應設置在靠近用氣點處。