一、潔凈室化學物料供應系統設計一般規定

      本章適用于潔凈室中使用的具有爆炸性、易燃性、劇毒性和腐蝕性的酸、堿、有機溶劑等化學物料儲存供應設備、輸送系統管路的安裝施工及驗收。

二、潔凈室化學物料供應系統儲存設施設計要求

1. 儲存間的機械排風出入口處應通暢無障礙，避免氣體積聚。

2. 容器的搬運除應符合本規范第11章的相關規定外，嚴禁倒置、撞擊。

3. 儲存設施與空間在施工完成后應按規定在明顯位置建立醒目標志。

4. 儲存和配間設置的隔堤，堤內容積應大于最大儲罐的容積，高度不低于500mm，堤體必須密實不漏，管道穿堤處應采用不燃材料密封。

三、潔凈室化學物料供應系統管道與部件設計要求

1. 化學物料的輸送管道及部件的材料，應符合設計要求，當設計未明確要求時，有機溶劑的管道宜用低碳不銹鋼管，酸、堿類管道宜用聚四氟乙烯（PFA）管，并應要求設計方確認。

2. 閥門材料應與管道材質一致。閥管間墊片宜采用氟橡膠或聚四氟乙烯。

3. 在非金屬管道中輸送有腐蝕性、易燃性的化學物料時，必須采用保護套管，保護套管可用透明的聚氯乙烯（PVC）管；輸送易燃性的化學物料時，可用熔點高于1100℃的金屬套管。

4. 化學物料輸送管道安裝完成后，應關斷通往容器閥門、卸下管中過濾器與流量計等附件，然后采用與潔凈室潔凈度匹配的干燥壓縮空氣、純氮吹凈，再用純凈水清洗。

四、 潔凈室化學物料供應系統分項驗收要求

1. 化學物料供應系統分項驗收除應符合本規范外，還應遵守現行國家標準《常用危險化學品的分類及標志》GB13690和《工業金屬管道工程施工及驗收規范》GB 50235的相關規定。

2. 化學物料供應系統的分項驗收應包括以下主控項目：

      （1） 容器應經過嚴格的清潔，表面無傷痕，零件安裝應牢固，并應使閥門操作方便、儀表讀數容易。

      檢驗方法：觀察檢查。

      檢驗數量：全部。

      （2） 容器垂直度的最大偏差，應不大于0.2％。

      檢驗方法：觀察檢查、掛5m線，直尺量。

      檢驗數量：全部。

      （3） 系統管道吹凈時間宜為1h～2h，直至排出氣體潔凈度符合設計要求。

      檢驗方法：觀察檢查，粒子計數器測定。

      檢驗數量：全部。

      （4） 在1.5倍工作壓力的檢驗壓力下經30 min試驗應無泄漏。

      檢驗方法：檢查試驗記錄。

      檢驗數量：全部。