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潔凈室空調通風參數和潔凈度等級的確定

發布時間:2022-05-13 17:05人氣:

1.由于生產工藝的不同,對空調通風參數和潔凈度等級的要求也不同,因此,設計人員首先應該了解各生產工藝的特點。

2.電子工廠生產工藝的特點:分類眾多,有集成電路生產(分為光掩膜、前道工序、后道工序),平面顯示器生產(分為LCD、PDP、TFT、VFD、顯像管),硅材料生產(單晶硅,多晶硅),光纖生產,制卡業,表面貼裝(SMT),分離器件生產(功率一、二、三級管,電容,電阻),整機組裝生產(機頂盒,數字投影儀生產,電子數碼相機生產),自控元器件生產(傳感器,執行機構)等等。

      由于生產工藝種類繁多,對潔凈度等級要求也不同,高的很高,低的很低;對粒子粒徑控制的要求也不同,0.1μm~5μm。對溫濕度控制的要求,相對較高如集成電路前道工序一般要求室內溫度基數為22℃,精度±0.1℃~±1℃;相對濕度基數為40%,精度±2%~±5%。正壓值要求的梯度級別,隨著潔凈的變化而從高到低變化差值為5~10Pa。

      以下舉例說明:某潔凈廠房面積168m2,潔凈等級6級,設計溫度22℃,相對濕度50%,新風量5070m3/h,采用二次回風,若室內設計參數改為25℃,相對濕度50%,空調箱冷盤管消耗冷量可以減少15%。計算過程如下:

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      由于我國電子行業與國際先進水平差距較大,隨著改革開放的力度不斷加大,先進技術不斷的進入到我國。因此,生產工藝技術的更新,真可謂日新月異,潔凈工程設計必須要適應這么快的變化節奏。

      冷負荷比其他行業的潔凈室大很多。單位冷負荷達400w/m2~500 w/m2很常見。由于冷負荷大,一般情況下,冬季也需要供冷成為電子行業特點。

      生產工藝過程產生的有毒有害氣體種類繁多,且量也大,所以排風量也大,新風量也大。新排風的節能措施也是特點之一,排放前要作處理,符合環保要求。

      生產工藝有抗靜電,抗微振的要求。

      大宗氣體和特種氣體種類多,純度和潔凈度要求高。

3.生物潔凈室包括制藥工業、食品工業、化妝品工業、醫院(手術室、燒傷病房、白血病病房等)、實驗室等。

      生物潔凈室的特點是,控制微生物進入生物潔凈室內,一般有過濾除菌和消毒滅菌兩種方法。

      由于高效過濾器的阻力大,價格貴,對于要求不高的一般生物潔凈室,用這種過濾器是不合適的。從細菌等價直徑的觀點來看,使用亞高效過濾器或者過濾效率接近高效的中效過濾器也是可行的。對于病毒,它雖然比細菌小的多,但它無完整的酶系統,和細菌比,不能單獨進行物質代謝,不能在無生命的培養基上生長,而必須寄生在某種活細胞內才能繁殖。因此它在空氣中也是有載體的,可以認為它是以群體形式存在,所以擔心高效過濾器過濾不了病毒是不必要的。所以對于生物潔凈室,采用什么樣的過濾器和其推廣應用是很重要的。

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