1 范圍
本文件定義了潔凈室中有關化合物或化學物質（包括分子、離子、原子、顆粒物）存在情況的表面潔凈度分級系統。
本文件適用于潔凈室及相關受控環境中所有表面，如墻面、頂棚、地面、工作環境、工具、設備和裝置。
注1:本文件僅考慮微粒子的化學性質，未考慮微粒子的物理性質。本文件不包括污染物與表面之間的相互作用。
注2：本文件不涉及污染產生的過程，不涉及與時間有關的影響因素（沉降、沉積、老化等）以及與過程有關的活動（如轉移、處理等），也不涉及為確保符合性的統計質量控制技術指南。
2 規范性引用文件
下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件;不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。
GB/T 25915.6 潔凈室及相關受控環境 第6部分:詞匯（GB/T 25915—2010,ISO14644-6：2007, IDT）
注：ISO 14644-6:2007已廢止，我國仍保留與之對應的國家標準。
3 術語和定義
GB/T 25915.6界定的以及下列術語和定義適用于本文件。
3.1
按化學物濃度劃分空氣潔凈度 air cleanliness by chemical concentration；ACC
給定的某種或某組化學物質最大允許濃度，用ISO-ACCN級表示，單位為克每立方米（g/m3）。
注：本定義不包括生物大分子，生物大分子視為微粒子。
3.2
污染物類別 contaminant category
沉積在關注表面時有特定和類似危害的一組化合物的統稱。
3.3
化學污染 chemical contamination
對產品、工藝或設備有害的化學物質（非微粒子）。
3.4
固體表面 solid surface
固相與另一相之間的界面。
3.5
表面 surface
兩相之間的界面。
注：通常其中一相為固相，另一相為氣相、液相或其他固相。
3.6
按化學物濃度劃分表面潔凈度 surface cleanliness by chemical concentration；SCC 以化學物濃度所表示的表面潔凈度狀況。
3.7
按化學物濃度劃分表面潔凈度等級 surface cleanliness by chemical concentration class
N see
以克每平方米（g/m2）為單位的表面化學物濃度的常用對數（以10為底）。
4 分級
4.1 潔凈室及相關受控環境表面潔凈度分級原理
應使用分級標識說明等級。該標識為“ISO-SCC”,它描述了一個表面上允許的某種化學物質或某組化學物質的最大總化學物質濃度,SCC分級依據公式（1）計算的、以克每平方米（g/m2）表示的表面化學物的濃度。為了計算等級，所有其他單位都應轉換為克每平方米（g/m2）。在需要對特定低濃度情況 予以說明時,表面化學物最大允許濃度可用公式（2）表示為每平方厘米原子數量ISO-SCCatomic。
4.2 按化學物濃度劃分表面潔凈度等級
SCC等級應使用分級數Nsec表示。Nsec是以克每平方米（g/m2)為單位的Cscc濃度的常用對數指標。SCC等級應總是與其所關聯的某種化學物質或某組化學物質同時標出。可以規定非整數濃度 Nscc級別，但只能保留一位小數。可根據公式（1）用Nsec確定Cscc。
Cscc=10Nscc （ 1 ）
故，Nscc = log10Cscc。
Cscc為以克每平方米（g/m2）為單位的某種或某組化學物質的最大允許濃度。測得的表面化學物濃度應不超過SCC的最大允許濃度。Cscc滿足需方和供方預先商定的SCC。
在各種情況下，Nscc級別數字應包括負號。
注1： SCC級別數字只有與標示符（見4.3）一起使用時才有效。
注2：將質量濃度（g/m2）換算為數量濃度（單位面積的原子數、分子數、離子數），見4.4。
表1和圖1給出了表面化學物濃度與ISO-SCC級別之間的對應關系。
附錄B列出的、對分級有影響的一些因素也應予以注意。
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下載地址：《GB/T 25915.10-2021 潔凈室及相關受控環境 第10部分：按化學物濃度劃分表面潔凈度等級.pdf》
