1 范圍

      GB/T 25915的本部分闡明了在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中，按粒子濃度來(lái)劃分固體表面潔凈度等級(jí)。附錄A?附錄D中給出了關(guān)于表面特性的信息以及推薦的檢測(cè)和測(cè)量方法。

      本部分適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的所有固體表面，如墻壁、頂棚、地板、生產(chǎn)環(huán)境、工具、設(shè)備和產(chǎn)品，按粒子濃度劃分的表面潔凈度等級(jí)（SCP）限于粒徑0.05 μm?500 μm的粒子。

      本部分對(duì)以下事項(xiàng)未予考慮；

      ——特定工藝的潔凈度及適合性要求；

      ——表面的清潔步驟；

      ——材料特性；

      ——涉及相互結(jié)合力或通常與時(shí)間和工藝過(guò)程有關(guān)的事項(xiàng)；

      ——分級(jí)和測(cè)試統(tǒng)計(jì)方法的選擇和使用；

      ——粒子的其他特性，如靜電電荷、離子電荷、微生物等狀況。

2 規(guī)范性引用文件

      下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

      GB/T 25915.6—2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第6部分：詞匯（ISO 11644-6 ：2007,1DT）

3 術(shù)語(yǔ)和定義

      GB/T 25915.6—2010界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。

3.1

      特定粒徑范圍描述符 descriptor for specific particle size ranges

      區(qū)分特定粒徑范圍SCP水平的描述符。

      注；此描述符可用于特別關(guān)注的或在分級(jí)體系之外的粒徑范圍，并可唯獨(dú)說(shuō)明或作為SCP等級(jí)的補(bǔ)充。

3.2

      直接測(cè)量法 direct measurement method

      沒(méi)有任何中間步驟的測(cè)量污染方法。

3.3

      間接測(cè)量方法 indirect measurement method

      帶有中間步驟的測(cè)量污染方法。

3.4

      固體表面 solid surface

      固體與另一相之間的界面。

3.5

      表面粒子 surfuce particle

      離散分布并粘附在所關(guān)注表面上的固體或液體物質(zhì)，不包括覆蓋整個(gè)表面的薄膜類(lèi)物質(zhì)。

      注：表面粒子是通過(guò)化學(xué)和(或）物理相互作用而粘附的粒子。

3.6

      表面潔凈度 surface cleanliness by particle concentration ； SCP

      表面粒子濃度方面的狀況。

      注：表面潔凈度是由材料與型式特點(diǎn)、各種應(yīng)力負(fù)荷(作用于表面上負(fù)荷的復(fù)雜性)以及起主導(dǎo)作用的環(huán)境條件和其他因素所決定的。

3.7

      表面潔凈度等級(jí) surface cleanliness by particle concentration class

      SCP 等級(jí) SCP class

      每平方米表面關(guān)注粒徑粒子濃度最大允許值的級(jí)別(SCP1級(jí)至8級(jí))。

3.8

      表面潔凈度分級(jí) surface cleanliness by particle concentration classification

      SCP 分級(jí) SCP classification

      以ISO SCP N級(jí)表示的代表每平方米中關(guān)注粒徑的表面粒子最大允許濃度(或測(cè)定水平的過(guò)程)。

3.9

      表面粒子濃度 surface particle concentration

      關(guān)注的表面區(qū)域單位面積離散粒子的數(shù)目。

4 縮略語(yǔ)

      下列縮略語(yǔ)適用于本文件。

      AFM：原子力顯微法(atomic force microscopy)

      CNC：凝聚核計(jì)數(shù)器(condensation nucleus counter)

      EDX：能量色散 X 射線光譜法(energy dispersive X-ray spectroscopy)

      ESCA：化學(xué)分析電子能譜法(electron spectroscopy for chemical analysis)

      IR：紅外(吸收式光譜法)[infraredCabsorption spectroscopy)]

      OPC：光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器(optical particle counter)

      PET ：聚乙烯苯二中酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate)

      SCP：按粒子濃度劃分表面潔凈度(surface cleanliness by particle concentration)

      SEM ：掃描電子顯微鏡法(scanning electron microscopy)

      UV：紫外線(光譜儀)[ultraviolet (spectroscopy)]

      WDX；波長(zhǎng)色散 X-射線光譜(wavelength-dispersive X-ray spectroscopy.)

5 分級(jí)體系

5.1 ISO-SCP分級(jí)公式

      在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中，按粒子濃度劃分的表面潔凈度級(jí)別(SCP)以等級(jí)數(shù)字N表示，它規(guī)定了表面上所關(guān)注粒徑粒子的最大允許濃度。N由式(1)確定，它表示某一關(guān)注粒徑(D)粒子每平方米表面所允許的最大總濃度 ：C_scp；D。

      式中：

      C_SCP;D——每平方米表面上大于或等于所關(guān)注粒徑粒子的最大允許總濃度，保留不多于3位非零有效數(shù)字，修約到最近的整數(shù)；

      N——SCP分級(jí)數(shù)字，限于SCP 1級(jí)?SCP 8級(jí);SCP分級(jí)數(shù)字N所對(duì)應(yīng)的是以微米為單位的被測(cè)粒徑；

      注：N表示的是基準(zhǔn)粒徑為1 μm的粒子濃度以10為底的指數(shù)；

      D——關(guān)注粒徑，單位為微米（μm）；

      k——常數(shù)1,單位為微米（μm）。

      注1：由于粒子生成和傳輸?shù)膭?dòng)態(tài)特性，依據(jù)粒子濃度的SCP等級(jí)是可依時(shí)間和工藝而定的值。

      注2：由于統(tǒng)計(jì)評(píng)估的復(fù)雜性及眾多參考資料.GB/T 25915本部分中未說(shuō)明對(duì)分級(jí)和測(cè)試統(tǒng)計(jì)方法的選擇與應(yīng)用。

      依式（1）導(dǎo)出的濃度CsCPE應(yīng)作為確定值使用。表1顯示的是所選定的SCP等級(jí)和關(guān)注粒徑對(duì)應(yīng)的表面最大允許累積濃度。

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