1 范圍

      本文件規定了按空氣中懸浮粒子濃度劃分潔凈室、潔凈區、GB/T 25915.7所述的隔離裝置中的空氣潔凈度等級。

      本文件適用于粒徑擋下限為0.1 μm?5 μm的顆粒物累積計數分布及其粒子濃度的監測。

      超細粒子（＜0.1μm）的濃度將在納米尺寸粒子空氣潔凈度標準中規定。在指定采樣點，規定使用光散射（離散式）空氣懸浮粒子計數器（LSAPC）判定大粒子（〉5μm）的粒子濃度，用M描述符對其量化。

      本文件不適用于表征空氣懸浮粒子的物理性、化學性、放射性、生物活性或其他特性。

2 規范性引用文件

      下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件;不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于 本文件。

      GB/T 25915.2-2021 潔凈室及相關受控環境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監測 （ISO 14644-2：2015,IDT）

      GB/T 25915.7 潔凈室及相關受控環境 第7部分：隔離裝置（凈化空氣臺、手套箱、隔離器和微 環境）（GB/T 25915.7—2020,ISO 14644-7：2004,IDT）

      GB/T 29024.4-2017 粒度分析單顆粒的光學測量方法第4部分：潔凈間光散射塵埃粒子計 數器（ISO 21501-4：2007,IDT）

3 術語和定義

      下列術語和定義適用于本文件。

3.1 基本

3.1.1

      潔凈室 cleanroom

      空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間，其設計、建造到運行均使進入、產生、滯留于房間的粒子受控。

      注1：規定了按空氣懸浮粒子濃度劃分的級別。

      注2：也可對影響潔凈度等級的其他因素，如空氣中化學物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度等級的其他因素，如粒子、納米粒子、化學物或微生物濃度等，作出規定并進行控制。

      注3：溫度、濕度、壓力、振動和靜電等相關的物理參數，也可按要求受控。

3.1.2

      潔凈區 clean zone

      空氣懸浮粒子計數濃度受控并分級的限定空間。其建造和運行使進入、產生和滯留于空間的粒子受控。

      注1：空氣懸浮粒子濃度的級別已確定。

      注2：也可對影響潔凈度等級的其他因素，如空氣中化學物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度等級的其他因素，如粒子、納米粒子、化學物或微生物濃度等，作出規定并進行控制。

      注3：潔凈區可以是限定于潔凈室內的空間，也可用隔離裝置實現。隔離裝置既可設在潔凈室內也可在潔凈室外。

      注4：溫度、濕度、壓力、振動和靜電等相關的物理參數，也可按要求受控。

3.1.3

      設施 installation

      連同所有相關構筑物、空氣處理系統、供給和公用設施的潔凈室或一個、多個潔凈區。

3.1.4

      分級 classification

      按技術要求評定潔凈室或潔凈區潔凈度水平的方法。

      注：潔凈度水平應以IS。等級濃度來描述，它代表單位容積空氣內最大允許粒子濃度。

3.2 空氣懸浮粒子

3.2.1

      粒子 particle

      具有規定物理邊界的微小物質。

3.2.2

      粒徑 particle size

      給定粒徑測定儀測得的、與被測粒子響應量相當的球體直徑。

      注：光散射離散粒子計數儀給出的是光學等效直徑。

3.2.3

      粒子濃度 particle concentration

      單位體積空氣中粒子的個數。

3.2.4

      粒徑分布 particle size distribution

      以累積分布表示的粒子濃度與粒徑的函數關系。

3.2.5

      大粒子 macroparticle

      當量直徑大于5 μm的粒子。

3.2.6

      M 描述符 M descriptor

      實測或規定的每立方米空氣中大粒子濃度，其中的當量粒徑與測量方法有關。

      注：M描述符可視作采樣點平均值的上限。不能用M描述符表示ISO潔凈度等級，但M描述符可以單獨引用或 與ISO潔凈度等級一起引用。

3.2.7

     單向流 unidirectional airflow

      通過潔凈室或潔凈區整個斷面，風速穩定且平行的受控氣流。

3.2.8

      非單向流 non-unidirectional airflow

      潔凈室或潔凈區的送風以誘導方式與室內空氣混合的氣流分布。

3.3 占用狀態

3.3.1

      空態 as-built

      潔凈室或潔凈區所有服務設施就位并運行，但無設備、家具、材料和人員的狀態。

3.3.2

      靜態 at-rest

      潔凈室或潔凈區建成且設備就位，按議定的方式運行，但無人員在場的狀態。

3.3.3

      動態 operational

      潔凈室或潔凈區設施按議定方式運行，且有規定數量的人員按議定方式工作的狀態。

3.4 檢測儀器

3.4.1

      分辨率 resolution

      可被測量的最小變量，即在相應顯示中產生的、可辨認的變化。

      注：噪聲（內、外部）或摩擦等因素可決定分辨率，被測的量值也可決定分辨率。

      [來源：ISO/IEC Guide 99：2007,4,14]

3.4.2

      最大允許測量誤差 maximum permissible measurement error

      對一項具體測量、或對測量儀或測量系統,相對于已知參照量值，技術條件或規范所允許的測量誤 差極值。

      注1：在有兩個極限值時，通常用術語“最大允許誤差”或“誤差限值”予以區分。

      注2： “公差”不可用于表示“最大允許誤差”.

      [來源：ISO/IEC Guide 99 ：2007,4.26]

3.5 儀器規格

3.5.1

      光散射（離散式）空氣懸浮粒子計數器 light scattering （discrete） airborne particle counter； LSAPC

      依據粒子的光學等效直徑，對空氣中單個粒子進行計數和測徑的儀器。

      注：GB/T 29024.4—2017 給出了 LSAPC 的規格。

3.5.2

      離散大粒子計數器 discrete-macroparticle counter

      能夠對空氣中單個大粒子計數和測徑的儀器。

      注：其技術規格見附錄F中表F.1。

3.5.3

      飛行時間測徑儀 time-of-flight particle sizing apparatus

      以粒子適應風速變化的時間來測定其空氣動力學直徑的離散粒子計數、測徑裝置。

      注1：通常借助光學方法測量流體速度變化后粒子的移動時間。

      注2：其技術規格見表F.2。

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