1 范圍

      本文件規定了監測計劃的基本要求。這個監測計劃依據所測量的空氣中懸浮粒子濃度或對其有影響的其他參數，監測潔凈室或潔凈區按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。

      本文件適用于粒徑0.1 μm?5 μm粒子濃度的監測。

      本文件不適用于振動或工程系統一般維護等監測。超細粒子（小于0.1 μm的粒子）濃度的監測，將在另一個標準中規定。

2 規范性引用文件

      下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

      GB/T 25915.1-2021 潔凈室及相關受控環境 第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級 （ISO 14644-1：2015,MOD）

      注：GB/T 25915.1—2021 被引用的內容與ISO 14644-1：2015被引用的內容沒有技術上的差異。

3 術語和定義

      GB/T 25915.1-2021界定的以及下列術語和定義適用于本文件。

3.1

      檢測 test

      為確定設施或其某個組成部分的性能，按規定方法實施的程序。

3.2

      監測 monitoring

      為證明設施性能,按規定的方法和計劃進行的測量。

      注1：監測可以是連續的、間歇的或定期的，如是定期的，要規定頻度。

      注2：監測信息可用于動態趨勢的觀察，提供過程支撐。

3.3

      干預值 action level

      用戶設定的參數值，當超過該值時，需要立即干預,查明原因并采取糾正措施。

3.4

      預警值 alert level

      用戶設定的參數值，偏離正常條件時可給出早期預警。當超過該值時，宜加強關注或采取糾正措施。

4 監測計劃的制定、執行及持續改進

4.1 說明

      為了確保潔凈室或潔凈區性能良好、粒子濃度達到控制要求并有良好的空氣潔凈度，應制定、執行并持續改進監測計劃。

      監測計劃應考慮所要求的空氣潔凈度水平、關鍵位置以及對潔凈室和潔凈區設施性能有影響的因素。在制定、執行并持續改進監測計劃時，應包括下列步驟：

      ——使用適當的風險評定方法來了解、評估、記錄不良污染事件的風險；

      ——制定書面監測計劃；

      ——審核并批準監測計劃；

      ——進行監測以執行計劃；

      ——對監測活動中獲取的數據進行分析，需要時進行趨勢分析并報告潔凈室和潔凈區的性能；

      ——實施并記錄采取的措施或糾正措施；

      ——定期審核監測計劃。

      按監測計劃測出的空氣中粒子濃度，可能高于靜態測試的濃度。受在場人員數量、風量、通風效果、儀器或機器運行、相鄰空間活動等因素的影響,測得的數值可能起伏較大。

      對工藝本身就產生粒子、且這些粒子對工藝或產品不形成威脅的，可不監測動態的粒子濃度，而進行定期靜態分級測試或模擬運行情況的動態分級測試。其他影響性能和潔凈度的參數仍可進行監測。

4.2 風瞼評估

      風險評估是識別出危險并對接觸危險的風險進行分析和評估的系統性過程。

      風險評估應實現以下目標：

      ——確定可能影響潔凈室或潔凈區保持其空氣潔凈度能力的因素（該潔凈度是按粒子濃度劃分的），從而制定出監測計劃；

      ——確定可證明性能的監測要求。

      風險評估考慮事項見附錄A。

4.3 監測計劃

4.3.1 監測計劃應考慮風險評估的結果。

      制定監測計劃時，應至少包括4.3.2?4.3.13中所述的要素。

4.3.2 列出所有要監測的參數并證明其合理性，包括可能影響空氣中粒子濃度的參數。

4.3.3 說明測量方法并證明其合理性，對制定監測計劃需要考慮的事項見附錄A。

4.3.4 監測儀器的準確度、維護、校準。

4.3.5 標識所選監測位置并說明合理性。監測位置應用三維坐標描述。

4.3.6 對監測合格的標準或限值的識別與其合理性，包括設定單個報警值,或設定預警值、干預值兩個報警值，但至少要設定干預值。設定預警值可給出性能偏離的早期預警。預警值、干預值的設置見附 錄B。

4.3.7 數據超出規定限值的應對措施的技術要求。

4.3.8 按GB/T 25915.1—2021中5.1的規定定期劃分潔凈室或潔凈區空氣潔凈度（按粒子濃度）的需要與頻度。

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