警告——GB/T 25915的本部分的應用可能涉及有害材料、作業和設備。GB/T 25915的本部分未提及與應用有關的所有安全性問題。使用前,GB/T 25915本部分的用戶有責任制定適當的安全和衛生 措施，并遵守各種強制性規定。

1 范圍

      GB/T 25915的本部分規定了潔凈室和潔凈區空氣懸浮粒子潔凈度等級的檢測方法，以及潔凈室和潔凈區性能的檢測方法。性能檢測針對是空態、靜態和動態3種可能的占用狀態下的單向流和非單 向流型式潔凈室和潔凈區。本文件推薦了測定性能參數用檢測儀器和檢測規程。.某些檢測方法受限于潔凈室或潔凈區的類型，為此，本文件推薦了若干替代方法。為了滿足不同用戶的要求,對于某些檢測項目，本文件推薦了幾種不同的方法和儀器。若需方與供方協商同意，也可以使用本部分未介紹的其他替代方法。替代方法未必給出相同的測量結果。

      本部分不適用于測量潔凈室或隔離裝置內的產品或工藝。

2 規范性引用文件

      下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

      GB/T 25915.1-2010 潔凈室及相關受控環境 第1部分:空氣潔凈度等級(ISO 14644-1/999, IDT)

      GB/T 25915.2-2010 潔凈室及相關受控環境 第2部分:證明持續符合GB/T 25915.1的檢測 與監測技術要求(ISO 14644-2：2000, IDT)

      GB/T 25915.4—2010 潔凈室及相關受控環境 第4部分:設計、建造、啟動(ISO 14644-4：2001 IDT)

      ISO 7726:1998 熱環境人體功效學物理量測量儀器

3 術語和定義

      下列術語和定義適用于本文件。

3.1 一般術語

3.1.1

      潔凈室 cleanroom

      空氣懸浮粒子濃度受控的房間，其建造和使用方式使房間內進入的、產生的、滯留的粒子最少，房間內溫度、濕度、壓力等其他相關參數按要求受控。

      [GB/T 25915.1—2010,2.1.1]

3.1.2

      潔凈區 clean zone

      空氣懸浮粒子濃度受控的專用空間，其建造和使用方式使區內進入的、產生的、滯留的粒子最少，區內溫度、濕度、壓力等其他相關參數按要求受控。

      注：潔凈區可以是開放的或封閉的;在也可不在潔凈室內。

      [GB/T 25915.1—2010,2.1.2]

3.1.3

      設施 installation

      連同所有建筑結構、空氣處理系統以及服務、公用系統的潔凈室，或一個或數個這樣的潔凈區。

      注：改寫 GB/T 25915.1—2010,定義 2.1.3。

3.1.4

      隔離裝置 separative device

      采用構造和動力學方法在確定的容積內外創建可靠隔離水平的設備。

      注：某些行業專用隔離裝置有：潔凈風罩、隔離箱 ,手套箱、隔離器、微環境。

3.2 空氣懸浮粒子測

3.2.1

      氣溶膠發生器 aerosol generator

      能以加熱、液壓、氣動、超聲波、靜電等方式生成濃度恒定、粒徑范圍適當的（例如0.05 μm?2 μm） 微粒物質的器具。

3.2.2

      空氣懸浮粒子 airborne particle

      懸浮在空氣中、活或非活、固體或液體、粒徑（對GB/T 25915的本部分而言）1 nm?100 μm的粒子。

      注：用于潔凈度等級的，參見GB/T 25915.1—2010,2.2.1。

3.2.3

      數量中值粒徑 count median particle diameter

      CMD

      按粒徑排列粒子時，處于中位數的粒子的粒徑值。

      注：占一半數量的粒子其粒徑小于數量中值粒徑，占另一半數量的粒子其粒徑大于該數量中值粒徑。

3.2.4

      大粒子 macroparticle

      當量直徑大于5 μm的粒子。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.6]

3.2.5

      M 描述符 M descriptor

      每立方米空氣中大粒子的實測或規定濃度。M描述符中的當量粒徑與測量方法有關。

      注：M描述符可作為采樣點平均濃度上限（或置信上限，該值隨潔凈室或潔凈區性能測定采樣點數量而定）。不能 用M描述符規定懸浮粒子潔凈度等級，但可將其單獨或隨潔凈度等級引述。

      [GB/T 25915.1—2010,2.3.2]

3.2.6

      質量中值粒徑 mass median particle diameter

      MMD

      按質量排列粒子時，處于中位數的粒子的粒徑值。

      注：占全部粒子質量一半的粒子其粒徑小于質量中值粒徑，占另一半質量的粒子其粒徑大于該中值粒徑。

3.2.7

      粒子濃度 particle concentration

     單位體積空氣中粒子的個數。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.3]

3.2.8

      粒徑 particle size

      給定的粒徑測量儀器所顯示的、與被測粒子的響應量相當的球形體直徑。

      注：離散粒子計數器給出的是當量光學粒徑。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.2]

3.2.9

      粒徑分布 particle size distribution

      粒子按粒徑累計得出的濃度。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.4]

3.2.10

      測試氣溶膠 test aerosol

      具有已知并受控的粒徑分布及濃度的固體和（或）液體粒子的氣態懸浮物。

3.2.11

      U 描述符 U descriptor

      包括超微粒子在內的、每立方米空氣粒子的實測或規定濃度。

      注：U描述符可作為采樣點平均濃度上限（或置信上限，該值隨潔凈室或潔凈區性能測定采樣點數量而定）。不能 用U描述符確定空氣潔凈度等級，但可將其單獨或隨潔凈度等級引述。

      [GB/T 25915.1—2010,2.3,1]

3.3.12

      超微粒子 ultrafine particle

      當量直徑小于0.1 μm的粒子。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.5]

3.3 空氣過濾器和過濾系統

3.4.1

      氣溶膠發塵 aerosol challenge

      對過濾器和已裝過濾系統施用檢測氣溶膠的過程。

3.3.2

      滲漏限值 designated leak

      需方與供方商定的、可用離散粒子計數器或氣溶膠光度計掃描測出的設施滲漏最大允許透過率。

3.3.3

      稀釋裝置 dilution system

      按已知容積比將氣溶膠與無粒子稀釋空氣混合，以降低氣溶膠濃度的裝置。

3.3.4

      過濾系統 filter system

      由過濾器、安裝架及其他支撐裝置或箱體組成的系統。

3.3.5

      末端過濾器 final filter

      空氣進入潔凈室之前最末端位置上的過濾器。

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