潔凈室要提供滿足工藝過(guò)程要求的合格潔凈環(huán)境，應(yīng)從設(shè)計(jì)、建造、調(diào)試和運(yùn)行管理各方面遵循如圖1所示的四個(gè)基本原則：

圖1 潔凈工程設(shè)計(jì)的四個(gè)基本原則

1．防止?jié)崈羰彝獾念w粒物直接侵入室內(nèi)

      主要采取以下技術(shù)措施：

      1）潔凈室內(nèi)維持正壓，防止?jié)崈舳缺仍摑崈羰业偷闹車諝鈹y帶顆粒物及其他污染物通過(guò)圍護(hù)結(jié)構(gòu)的縫隙和孔洞直接進(jìn)入室內(nèi)；

      2）采用符合要求的空氣凈化系統(tǒng)對(duì)送風(fēng)進(jìn)行過(guò)濾。經(jīng)高效過(guò)濾后的空氣，不得被其后的管道、送風(fēng)口等再污染，同時(shí)注意高效過(guò)濾器與安裝密封設(shè)施，以免未經(jīng)高效過(guò)濾的空氣滲漏入室；

      3）對(duì)進(jìn)入室內(nèi)的人員和物料采取合格的凈化措施，防止將污染物帶入潔凈室內(nèi)。

2．防止顆粒物在潔凈室內(nèi)堆積（積聚）

      主要采取以下技術(shù)措施：

      1）潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)內(nèi)表面不應(yīng)或盡量減少突出物和溝縫，以免堆積塵埃；

      2）室內(nèi)的設(shè)備、管路、家具等應(yīng)易于清掃；

      3）設(shè)置真空清掃系統(tǒng)或真空掃除機(jī)，定期清掃。

3．防止室產(chǎn)生顆粒物

      主要采取以下技術(shù)措施：

      1）潔凈室內(nèi)的建筑裝修材料、設(shè)備、家具、用具等應(yīng)不產(chǎn)塵或盡可能少產(chǎn)塵；

      2）室內(nèi)人員應(yīng)穿著合格的潔凈服、遵循潔凈室操作（動(dòng)作）規(guī)程，以減少發(fā)塵；

      3）提高工藝過(guò)程的機(jī)械化、自動(dòng)化程度，這對(duì)高級(jí)別潔凈室尤為重要。

4．迅速有效地排除進(jìn)入室內(nèi)和室內(nèi)發(fā)生的顆粒物

      主要采取以下技術(shù)措施：

      1）用經(jīng)過(guò)凈化的潔凈空氣及時(shí)排除室內(nèi)發(fā)塵，可以采用“稀釋沖淡”或“活塞置換”的手段來(lái)排除室內(nèi)的發(fā)塵。

      2）用足夠的風(fēng)量保證必要的換氣次數(shù)以及采用合理的氣流組織來(lái)實(shí)現(xiàn)塵粒的排除，氣流組織要考慮到室內(nèi)工藝設(shè)備和發(fā)塵點(diǎn)的位置等實(shí)際情況。

      3）對(duì)發(fā)塵量比較大的設(shè)備可以采用局部排風(fēng)設(shè)施。

      由此可知，這些基本原則的實(shí)施是要由規(guī)劃、建筑、工藝、空氣凈化、設(shè)備材料以及運(yùn)行管理等多方面共同配合才能的實(shí)現(xiàn)的。